- 横型抵抗加熱式真空蒸着装置写真資料
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＜横型抵抗加熱式真空蒸着装置仕様書＞
<１．１機種>
横型抵抗加熱式真空蒸着装置
<１．２型式>
ＶＣＤ－１２００
<１．３目的・用途>
本装置は抵抗加熱電極を横にすることにより、フィラメント、バスケット及びボートによる抵抗加熱蒸着ができます。
<１．４装置特徴>
(1)本装置は、扉側より基板治具機構の取り外しを行います。
(2)成膜(蒸着)は、高真空排気(拡散ポンプによる排気)で行います。
(3)低真空ボンバードを行います。
(4)ワーク治具機構は、自公転回転ドラムで構成されます。回転ドラムには、ユーザー様指定のワークが装着できます。
(5)カレンダータイマーにより自動起動が可能です。
《2．性能》
<２．１ワーク>
(1)ワーク：指定金属部品
(2)装着可能サイズ：ワークサンプルによる。
(3)装着数：ワークサンプルによる。
<２．２蒸着>
(1)方式：抵抗加熱方式
(2)蒸着物質：抵抗加熱で蒸着可能な薬品
※蒸着物質は抵抗加熱蒸着できる物質とできない物質があります。
<２．３真空排気>
(1)到達圧力：２４時間以内に８．０×１０－４Pa以下
(2)排気時間：５．０×１０－３Ｐａまで約４０分以内
※(1)、(2)とも真空槽清浄な状態で、ワーク、ワークホルダ無挿入、室温の状態です。
※お引渡し時の性能です。
<２．４制御>
(1)シーケンサとタッチパネルを主体とし、ハードウェアにて制御します。
<２．５運転概要>
(1)自動運転
※下記工程を自動で運転します。
(a)粗引き排気：粗引き排気します。(拡散ポンプ排気可能な真空度まで真空槽を油回転ポンプ及びルーツ真空ポンプで真空引きします。)
※この時、ボンバードを行うことも可能です。
(b)高真空排気：高真空まで排気します。(拡散ポンプの排気により、蒸着可能真空度５．０×１０－３Ｐａまで排気します。)
(c)蒸着：Ｃｄを自動蒸着します。
(d)大気リーク：蒸着終了後、大気圧までリークします。
(2)手動運転：自動運転で示した各工程を確認しながら順にタッチパネルにて操作を行えます。
(3)保守運転：ポンプ、バルブ等の各機器を単独で操作できます。インターロックは、装置保護及び安全に必要なもののみとなります。
《３．構成》
<３．１真空槽>
(1)真空槽
(a)材質：ＳＵＳ３０４
(b)真空槽本体寸法：Φ１2００ｍｍ×１５００ｍｍ(内寸)
(c)監視窓：Φ１１5ｍｍ：2式
(d)ゲージポート：各機器サイズ：各真空計取付け用１式
(e)内部防着板：ＳＵＳ４３０：２式
(2)架台
(a)材質：鉄製(塗装仕上げ)
※塗装色は指定可能です。
<３．２排気機器>
(1)真空排気ポンプ
(a)油拡散ポンプ(２２インチ)：型番：ＥＳＶ－２２Ｓ：メーカー：芝浦エレテック：２式
(b)メカニカルブースターポンプ：型番：ＰＭＢ０１２Ａ：メーカー：ＵＬＶＡＣ：１式
(c)ロータリーポンプ：型番：ＶＳ２４０１：メーカー：ＵＬＶＡＣ：１式
(d)オイルミストトラップ：型番：ＴＭ－４：メーカー：ＵＬＶＡＣ：１式
(e)冷凍機：型番：ＰＦＣ－５５２：メーカー：Ｂｒｏｏｋｓ：１式
(2)バルブ
(a)メインバルブ：２２インチ空圧作動Ｌ型バルブ：２式
(b)粗引きバルブ：６インチ空圧作動Ｌ型バルブ：１式
(c)補助バルブ：６インチ空圧作動Ｌ型バルブ：２式
(d)スロー粗引きバルブ：１インチ空圧作動Ｌ型バルブ：１式
(e)リークバルブ：１インチ空圧作動Ｌ型バルブ：１式
(f)スローリークバルブ：１インチ空圧作動Ｌ型バルブ：１式
(g)ゲートバルブ：４インチバット式バルブ：１式
(h)マイスナートラップ：真空槽内部：１式
(i)水冷バッフル：１式
※ゲートバルブは真空槽リーク後、真空槽内カドミウム排気用バルブです。
ゲートバルブ後は、ユーザー様にて排気ダクトを取り付けてください。
(3)排気配管
(a)材料：ＳＵＳ製：６インチ
<３．３基板機器>
(1)基板装着ドラム
(a)自公転機構ドラム：２式
(b)装着数：基板サイズによる。
(c)治具：２式
(2)基板ドラム回転機構
(a)数量：１式
(b)駆動方法：モータ駆動：１式
(c)回転制御：インバータ制御
(d)公転回転数：２～１５ｒｐｍ
(e)真空シール：磁性流体シール
<３．４成膜機器>
(1)蒸着機器
(a)電極数量：各ドラムに１式
(b)抵抗加熱蒸着用トランス：１０Ｖ、４０ＫＶＡ：１式
(c)フィラメント取付金具：各ドラムに１式
(d)電流導入端子：真空槽に１式
(e)バリタップ：１式
(f)抵抗加熱用ボート：消耗品
(g)蒸着材料：Ｃｄ：消耗品
<３．５基板表面処理機器>
(1)ボンバードユニット：１式
<３．６ガス導入機器>
(1)アルゴンガス制御機器
(a)流量制御機器、仕切バルブ：マスフローコントローラ：メーカー：Ａｚｂｉｌ
アルゴンガス最大流量５００ｓｃｃｍ：型番：ＭＱＶ９５００
(b)アルゴンガス用配管：ＳＵＳ３１６製ＢＡ管：スェージロック継手：１式
(c)電磁弁：メーカー：ＣＫＤ製：１式
<３．７真空計測制御機器>
(1)真空計
(a)複合真空計：型番：ＰＫＲ２５１：メーカー：ＰＦＥＩＦＦＥＲ：１式
(b)ピラニー真空計：型番：ＧＰ－１ＳＲＹ：メーカー：ＵＬＶＡＣ：１式
(c)真空スイッチ：型番：ＺＳＥ４０－０１－２２－Ｍ：メーカー：ＳＭＣ：２式
<３．8制御盤・配線機器>
(a)制御盤：１式
(b)配線用ダクト：１式
<３．9水圧、空圧ユニット>
(1)水圧ユニット：水冷ヘッダー・ボールバルブ・水圧センサー・ホース：１式
(2)空圧ユニット：マニホールドユニット・空圧センサー・ホース：１式
《４．安全装置》
<４．１冷却水系>
断水時、事故、故障の原因となる機器があるため、排水側にインターロック用の水圧センサーを設けて水圧低下時、ブザーが鳴り、機器の動作は停止します。
<４．２圧縮空気系>
エアー導入口にプレッシャースイッチを設け、０．３５ＭＰａ以下になるとエアー圧力低下の検出を行い、すべての動作を停止します。
<４．３真空排気系>
ロータリーポンプが停止すると制御電源が切れ、すべてのバルブが閉じます。真空槽扉のドアスイッチがＯＮされていないと排気操作はできません。
<４．４蒸発源系>
抵抗加熱は真空槽が真空でないと操作できません。
<４．５停電対策>
停電時は、すべてのバルブは閉状態(全閉)となります。
<４．６漏電対策>
本装置には漏電ブレーカーが設けてあります。
《５．設置条件》
<５．１ユーティリティー>
(1)電源
(a)装置本体 三相：２００Ｖ／２２０Ｖ ５０Ｈｚ／６０Ｈｚ 約５５．５ＫＶＡ
単相：２００Ｖ／２２０Ｖ ５０Ｈｚ／６０Ｈｚ 約４０．０ＫＶＡ
(b)装置用アース：Ｄ種接置
(2)冷却水
(a)供給圧力：０．２～０．３ＭＰａ：冷却水入り口の差圧は０．２ＭＰａ以上
(b)水量：約９９Ｌ／ｍｉｎ(水温１９℃～２６℃)
(c)接続口：入口ＰＴ１・１／２インチ(カンタッチ)
：出口ＰＴ１・１／２インチ(カンタッチ)
注)水質は、市水程度とします。(ＰＨは６．０～８．０の中性)
注)水温が室温より低いと結露する場合があります。
(3)駆動機器用圧縮空気
(a)圧力：０．５～０．８ＭＰａ(ｇａｕｇｅ)
(b)接続口：ＰＴ１／２(メネジ)
注)油分、水分を含まない、清浄な乾燥空気を供給してください。
(4)排気ダクト
(a)接続口：４インチソケット付
※油回転真空ポンプの排気口(オイルミストトラップ)より油煙がでます。この油煙を排気ダクトで工場の外へ排出します。
(5)設置環境
(a)設置場所：平坦で水平な場所(４ｍｍ以下)、装置をアンカーボルトで固定できる床圧及び強度があること。
(b)床対荷重：１．２ｔ／㎡
(c)使用環境周囲温度：１５～２５℃
(d)周囲湿度：６０％ＲＨ(相対湿度)以下の範囲で結露なきこと。
(e)その他：直射日光の当たる場所、強い磁場を発生する装置の近辺や、埃の多い場所、振動のある場所は避けてください。
(6)消耗品
(a)蒸着材：Ｃｄ他
(b)抵抗加熱用ボート：材質タングステン、モリブデン
(c)定期オーバーホール部品、その他
- ＜両扉式抵抗加熱真空蒸着装置参考レイアウト図＞
▲ＰＡＧＥ ＴＯＰ