台湾のLung Pien Vacuumの工場にて製造しています。
台湾の工場にて装置立ち合いを行い出荷致します。
装置製造期間は約2ヶ月です。
台湾から装置出荷から船便が日本に着くまで約1ヶ月です。
日本の工場立ち上げまでの総額費用は、為替にもよりますが
PH-1400で税抜価格(円)：2200～2500万です。
装置が必要の際は、お気軽にご連絡願います。
御見積依頼はできる限りご対応致します。
担当は、有限会社VOCテクノロジーの河合安洋にお問い合わせ願います。
お問い合わせメールアドレス service@voc-t.com
お問い合わせ電話番号 0550-84-3456
装置のサイズは、φ1400～φ2000まであります。
その他に、プラズマ重合装置の販売も行っております。
下記φ1400アルミ蒸着装置の仕様となります。
＜両扉式抵抗加熱真空蒸着装置仕様書＞
<１．１機種>
両扉式抵抗加熱真空蒸着装置
<１．２型式>
ＰＨ－１４００
<１．３目的・用途>
両扉式抵抗加熱真空蒸着装置は、アルミ反射膜を真空成膜により形成することを目的とした装置です。
<１．４装置特徴>
(1)本装置は、真空槽(チャンバ)に左右２枚の扉を有し、それぞれの扉にワーク治具機構及び抵抗加熱蒸着源を設けることで、一方の扉を閉じて真空蒸着を行う間に、他方の扉のワーク治具機構及び抵抗加熱蒸着源でワーク脱着及び蒸着材のセットが可能となり、効率良く真空蒸着装置を稼動できます。
(2)蒸着(成膜)は、高真空排気(拡散ポンプによる排気)で行います。
《2．性能》
<２．１ワーク>
(1)ワーク：樹脂
※用途に応じてアンダーコートが必要な場合があります。
(2)装着可能サイズ：ワークサンプルによる。
(3)装着数：ワークサンプルによる。
<２．２蒸着>
(1)方式：抵抗加熱方式
(2)蒸着物質：Ａｌ(アルミニウム)
※蒸着物質は抵抗加熱蒸着できる物質とできない物質があります。
※オプションで粗引き時のＤＣプラズマ処理もしくは、ＲＦプラズマ処理を取り付けられます。
<２．３真空排気>
(1)到達圧力：２４時間以内に８．０×１０－４Pa以下
(2)排気時間：１．３×１０－２Ｐａまで約８分以内
※(1)、(2)とも真空槽清浄な状態で、ワーク、ワークホルダ無挿入、室温の状態です。
※お引渡し時の性能です。
<２．４制御>
(1)シーケンサとタッチパネルを主体とし、ハードウェアにて制御します。
<２．５運転概要>
(1)自動運転
※下記工程を自動で運転します。
(a)粗引き排気：粗引き排気します。(拡散ポンプ排気可能な真空度まで真空槽を油回転ポンプ及びルーツ真空ポンプで真空引きします。)
(b)高真空排気：高真空まで排気します。(拡散ポンプの排気により、蒸着可能真空度１．３×１０－２Ｐａまで排気します。)
(c)蒸着：Ａｌを自動蒸着します。
(d)大気リーク：蒸着終了後、大気圧までリークします。
(2)手動運転：自動運転で示した各工程を確認しながら順にタッチパネルにて操作を行えます。
(3)保守運転：ポンプ、バルブ等の各機器を単独で操作できます。インターロックは、装置保護及び安全に必要なもののみとなります。
《３．構成》
<３．１真空槽>
(1)真空槽
(a)材質：ＳＵＳ３０４
(b)真空槽本体側寸法：Φ１４００ｍｍ×h１５００ｍｍ(内寸)
(c)真空槽扉：ＳＵＳ３０４：２式
(d)監視窓：Φ１１６ｍｍ：各扉１式
(e)ゲージポート：各機器サイズ：各真空計取付け用１式
(f)内部防着板：ＳＵＳ３０４(真空槽本体用)：２式
(g)内部防着板：ＳＵＳ３０４(各扉用)：２式
(2)架台
(a)材質：鉄製(塗装仕上げ)
※塗装色は指定可能です。
<３．２排気機器>
(1)真空排気ポンプ
(a)油拡散ポンプ(３６インチ)：型番：ＰＨ－３６：メーカー：ＬＵＮＧ ＰＩＥＮ：１式
(b)ルーツ真空ポンプ：型番：ＲＤ２５００：メーカー：㈱大阪真空機器：１式
(c)油回転真空ポンプ：型番：Ｐ６００：メーカー：㈱大阪真空機器：１式
(d)オイルミストトラップ：メーカー：㈱大阪真空機器：１式
(e)冷凍機：型番：ＭＡＣ－１５００：メーカー：㈱マック：１式
(2)バルブ
(a)メインバルブ：３６インチ空圧作動Ｌ型バルブ：１式
(b)粗引きバルブ：８インチ空圧作動Ｌ型バルブ：１式
(c)補助バルブ：６インチ空圧作動Ｌ型バルブ：１式
(d)リークバルブ：２インチ空圧作動Ｌ型バルブ：１式
(e)マイスナートラップ：拡散ポンプ上部常時冷凍方式：１式
(f)水冷バッフル：１式
(3)排気配管
(a)材料：ＳＵＳ製：６インチ及び８インチ
<３．３ワーク機器>
(1)ワーク治具
(a)軸棒：数量：１６本(扉１枚に８本)
※ワーク治具は、ワークごとに治具が異なるため、軸棒のみとさせて頂きます。
※ご相談頂ければ、治具の製作も請け賜ります。
(2)基板回転機構(扉は２式付いていますので、各扉に１式回転機構が付いています。)
(a)自公転機構：電極棒付：各扉に１式
(b)駆動方法：モータ駆動：各扉に１式
(c)自公転：６軸、８軸兼用：各扉に１式
(d)真空シール：各扉に１式
<３．４成膜機器>
(1)蒸着機器
(a)電極数量：各扉に１式
(b)抵抗加熱蒸着用トランス：７～９Ｖ、３５ＫＶＡ：１式
(c)フィラメント取付金具：各扉に１式
(d)電流導入端子：各扉に１式
(e)フィラメント(タングステン)：消耗品
(f)蒸着材料：アルミ線材、スズーインジウム１：９線材：消耗品
<３．５真空計測制御機器>
(1)真空計
(a)真空計：ＣＥＮＴＥＲ ＴＨＲＥＥ：メーカー：ＬＥＹＢＯＬＤ
ＴＨＥＲＭＯＶＡＣ：真空槽排気制御用：２式
ＰＥＮＮＩＮＧＶＡＣ：真空槽排気制御用：１式
(b)真空スイッチ：排気制御用：１式
<３．６制御盤・配線機器>
(a)制御盤：１式
(b)配線用ダクト：１式
<３．７水圧、空圧ユニット>
(1)水圧ユニット：水冷ヘッダー・ボールバルブ・水圧センサー・ホース：１式
(2)空圧ユニット：マニホールドユニット・空圧センサー・ホース：１式
《４．安全装置》
<４．１冷却水系>
断水時、事故、故障の原因となる機器があるため、排水側にインターロック用の水圧センサーを設けて水圧低下時、ブザーが鳴り、機器の動作は停止します。
<４．２圧縮空気系>
エアー導入口にプレッシャースイッチを設け、０．３５ＭＰａ以下になるとエアー圧力低下の検出を行い、すべての動作を停止します。
<４．３真空排気系>
ロータリーポンプが停止すると制御電源が切れ、すべてのバルブが閉じます。真空槽扉のドアスイッチがＯＮされていないと排気操作はできません。
<４．４蒸発源系>
抵抗加熱は真空槽が真空でないと操作できません。
<４．５停電対策>
停電時は、すべてのバルブは閉状態(全閉)となります。
<４．６漏電対策>
本装置には漏電ブレーカーが設けてあります。
《５．設置条件》
<５．１ユーティリティー>
(1)電源
(a)装置本体 三相：２００Ｖ／２２０Ｖ ５０Ｈｚ／６０Ｈｚ 約５７．５ＫＶＡ
単相：２００Ｖ／２２０Ｖ ５０Ｈｚ／６０Ｈｚ 約３５．０ＫＶＡ
(b)装置用アース：Ｄ種設置
(2)冷却水
(a)供給圧力：０．２～０．３ＭＰａ：冷却水入り口の差圧は０．２ＭＰａ以上
(b)水量：約９９Ｌ／ｍｉｎ(水温１９℃～２６℃)
(c)接続口：入口ＰＴ１・１／２インチ(カンタッチ)
：出口ＰＴ１・１／２インチ(カンタッチ)
注)水質は、市水程度とします。(ＰＨは６．０～８．０の中性)
注)水温が室温より低いと結露する場合があります。
(3)駆動機器用圧縮空気
(a)圧力：０．５～０．８ＭＰａ(ｇａｕｇｅ)
(b)接続口：ＰＴ１／２(メネジ)
注)油分、水分を含まない、清浄な乾燥空気を供給してください。
(4)排気ダクト
(a)接続口：４インチソケット付
※油回転真空ポンプの排気口(オイルミストトラップ)より油煙がでます。この油煙を排気ダクトで工場の外へ排出します。
(5)設置環境
(a)設置場所：平坦で水平な場所(４ｍｍ以下)、装置をアンカーボルトで固定できる床圧及び強度があること。
(b)床対荷重：１．５ｔ／㎡
(c)使用環境周囲温度：１５～２５℃
(d)周囲湿度：６０％ＲＨ(相対湿度)以下の範囲で結露なきこと。
(e)その他：直射日光の当たる場所、強い磁場を発生する装置の近辺や、埃の多い場所、振動のある場所は避けてください。
(6)消耗品
(a)蒸着材：アルミ線材・スズーインジウム１：９線材他
(b)蒸着用フィラメント：材質タングステン
(c)定期オーバーホール部品
- ＜両扉式抵抗加熱真空蒸着装置参考レイアウト図＞
▲ＰＡＧＥ ＴＯＰ